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广州市汇洲电子科技有限公司

有关触摸屏黄光制程相关工艺问题集

发布时间:2014/11/18 13:26:47   编辑:hxr  来源:触控技术网|全球触摸屏产业领航者
提要:作为目前最为主流的触摸屏制作工艺,黄光制程被普遍应用在触摸屏厂商的生产过程中。其实黄光制程在生产过程中,操作人员会遇到各种各样的问题,本文将就根据生产过程中遇到的问题及解决办法整理成集,以供参考。
友达光电

当FAB内气体发生泄漏二级警报(既Leak HiHi),气体警报灯(LAU)会如何动作?FAB内工作人员应如何应变?

答:LAU红、黄灯闪烁、蜂鸣器叫听从ERC广播命令,立刻疏散。

化学供应系统中的化学物质特性为何?

答:(1) Acid/Caustic 酸性/腐蚀性(2) Solvent有机溶剂(3) Slurry研磨液

有机溶剂柜的安用保护装置为何?

答:(1) Gas/Temp. detector;气体/温度侦测器(2) CO2 extinguisher;二氧化碳灭火器

中芯有那几类研磨液(slurry)系统?

答:(1) Oxide (SiO2) (2) Tungsten (W)鵭

设备机台总电源是几伏特?

答:208V OR 380V

欲从事生产/测试/维护时,如无法就近取得电源供给,可以无限制使用延长线吗?

答:不可以

如何选用电器器材?

答:使用电器器材需采用通过认证之正规品牌

机台开关可以任意分/合吗?

答:未经确认不可随意分/合任何机台开关,以免造成生产损失及人员伤害.

欲从事生产/测试/维护时,如无法就近取得电源供给,也不能无限制使用延长线,对吗?

答:对

假设断路器启断容量为16安培导线线径2.5mm2,电源供应电压单相220伏特,若使用单相5000W电器设备会产生何种情况?

答:断路器跳闸

当供电局供电中断时,人员仍可安心待在FAB中吗?

答:当供电局供电中断时,本厂因有紧急发电机设备,配合各相关监视系统,仍然能保持FAB之Safety,所以人员仍可安心待在FAB中.

ETCH

何谓蚀刻(Etch)?

答:将形成在晶圆表面上的薄膜全部,或特定处所去除至必要厚度的制程。
蚀刻种类:

答:(1) 干蚀刻(2) 湿蚀刻

蚀刻对象依薄膜种类可分为:

答:poly,oxide, metal

半导体中一般金属导线材质为何?

答:鵭线(W)/铝线(Al)/铜线(Cu)

何谓 dielectric 蚀刻(介电质蚀刻)?

答:Oxide etch and nitride etch

半导体中一般介电质材质为何?

答:氧化硅/氮化硅

何谓湿式蚀刻

答:利用液相的酸液或溶剂;将不要的薄膜去除

何谓电浆 Plasma?

答:电浆是物质的第四状态.带有正,负电荷及中性粒子之总和;其中包含电子,正离子,负离子,中性分子,活性基及发散光子等,产生电浆的方法可使用高温或高电压.

何谓干式蚀刻?

答:利用plasma将不要的薄膜去除

何谓Under-etching(蚀刻不足)?

答:系指被蚀刻材料,在被蚀刻途中停止造成应被去除的薄膜仍有残留
何谓Over-etching(过蚀刻 )

答:蚀刻过多造成底层被破坏

何谓Etch rate(蚀刻速率)

答:单位时间内可去除的蚀刻材料厚度或深度

何谓Seasoning(陈化处理)

答:是在蚀刻室的清净或更换零件后,为要稳定制程条件,使用仿真(dummy) 晶圆进行数次的蚀刻循环。

 



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