触控技术网|中华液晶网|设为首页|加入收藏
用户名:  密码:    [免费注册][忘记密码]
触摸屏应用产品: 平板电脑 智能手机 触摸笔记本 互动大屏幕 金融自助终端 一体机 KTV触摸屏 触摸屏材料: ITO导电玻璃 OCA光学胶 油墨 Sensor/功能片 导电胶/ACF/ACP 触摸屏设备: 触摸屏生产线 贴合机 UV固化机 预压机 丝印设备 触摸屏面板: 电容触摸屏 电阻屏 红外线触摸屏 声波式触摸屏 多点触摸屏 触摸屏软件
深圳市朗玛数控设备有限公司
广州市汇洲电子科技有限公司

有关触摸屏黄光制程相关工艺问题集

发布时间:2014/11/18 13:26:47   编辑:hxr  来源:触控技术网|全球触摸屏产业领航者
提要:作为目前最为主流的触摸屏制作工艺,黄光制程被普遍应用在触摸屏厂商的生产过程中。其实黄光制程在生产过程中,操作人员会遇到各种各样的问题,本文将就根据生产过程中遇到的问题及解决办法整理成集,以供参考。
友达光电

作为目前最为主流的触摸屏制作工艺,黄光制程被普遍应用在触摸屏厂商的生产过程中。其实黄光制程在生产过程中,操作人员会遇到各种各样的问题,本文将就根据生产过程中遇到的问题及解决办法整理成集,以供参考。

PHOTO 流程?

答:上光阻→曝光→显影→显影后检查→CD量测→Overlay量测

何为光阻?其功能为何?其分为哪两种?

答:Photoresist(光阻).是一种感光的物质,其作用是将Pattern从光罩(Reticle)上传递到Wafer上的一种介质。其分为正光阻和负光阻。

何为正光阻?

答:正光阻,是光阻的一种,这种光阻的特性是将其曝光之后,感光部分的性质会改变,并在之后的显影过程中被曝光的部分被去除。

何为负光阻?

答:负光阻也是光阻的一种类型,将其曝光之后,感光部分的性质被改变,但是这种光阻的特性与正光阻的特性刚好相反,其感光部分在将来的显影过程中会被留下,而没有被感光的部分则被显影过程去除。

什幺是曝光?什幺是显影?


答:曝光就是通过光照射光阻,使其感光;显影就是将曝光完成后的图形处理,以将图形清晰的显现出来的过程。

何谓 Photo?

答:Photo=Photolithgraphy,光刻,将图形从光罩上成象到光阻上的过程。

Photo主要流程为何?

答:Photo的流程分为前处理,上光阻,Soft Bake, 曝光,PEB,显影,Hard Bake等。

何谓PHOTO区之前处理?

答:在Wafer上涂布光阻之前,需要先对Wafer表面进行一系列的处理工作,以使光阻能在后面的涂布过程中能够被更可靠的涂布。前处理主要包括Bake,HDMS等过程。其中通过Bake将Wafer表面吸收的水分去除,然后进行HDMS工作,以使Wafer表面更容易与光阻结合。

 



    想更便捷地了解触控产业最新资讯?那就关注触控技术网推出的微信公共平台吧!本平台将推送每日最新、最具看点的触控产业资讯。微信平台使用帮助请关注后发送“help”。具体关注方式:微信关注“触控技术网”(微信号:chukong01)或扫描以下二维码:



分享到: 6.02K

推荐 触控面板产品

网友评论仅供网友表达个人看法,并不表明液晶网同意其观点或证实其描述。

广东达美新材料有限公司
汉高(中国)投资有限公司

热门资讯

推荐 触控面板厂商