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触控面板制造工艺之黄光工艺流程全解

发布时间:2014/8/22 11:16:41   编辑:hxr  来源:触控技术网|全球触摸屏产业领航者
提要:作为目前电容式触摸屏最为主流的制造工艺,黄光制程一直备受关注。技术发展到今天,已经拥有非常完善的工艺。本文将从黄光制程的步骤入手,全面介绍制程中每个步骤及所需注意的事项。
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4.显影

显影的目的是将未感光部分的光刻胶出所需要的图行。

显影必须彻底,以使图形边缘整齐。

显影需严格控制好显影时间。

若显影时间不足,则在未感光处留下一层不易察觉的光刻胶层,在蚀刻ITO层之间,它起了祖蚀作用,而随意蚀刻液对这一博层胶膜的穿透和破坏,使这一博层的ITO层蚀刻不彻底,形成斑纹或小岛。

此外,显影不足还会使胶膜边缘出现厚度不均的过夜区,造成边缘毛刺,图形模糊,影响光刻质量。

若显影时间过长,由于显影时光刻胶发生软化、膨胀,显影液从ITO层表面向图形边缘渗入,发生粘溶,使图形边缘变形。

有的甚至会出现浮胶现象,ITO表面的胶膜皱起呈橘皮状,严重的甚至大片剥落形成脱胶。
为了保证显影质量,必须严格控制显影显影时间并及时更换显影液。显影后玻璃一般应检查一下几个方面:

(1) 图形定位是否准确;

(2)图形边缘是否整齐;

(3)有无皱胶和胶发黑;

(4)有无浮胶;

(5)有无胶面及ITO层的划伤;

(6)显影漂洗是否干净等; 显影机工艺参数之设定:

KOH溶度为0.1-0.18N,温度为30±2℃,压力为≦0.2kg/c㎡,传速为4.5±1.5m/min,喷洗压力为0.1-0.5 kg/c㎡ 。

5.坚膜

由于显影时胶膜发生软化、膨胀,影响胶膜抗蚀能力,,因此在显影后必须以适当温度烘干玻璃,以去除显影夜和水份,使胶膜坚固。坚膜可以使胶膜与ITO层之间贴得更牢,同时也增强了胶膜本身的抗蚀 能力。

坚膜的温度和时间要适当选择,若坚膜不足,则因胶膜没有烘透,不够坚固,在蚀刻时发生浮胶或严重测蚀等。若坚膜过度,则使胶膜因热膨胀会产生翘曲和剥落,当蚀刻时会发生钻蚀或浮胶。

坚膜最好采用缓慢升温和自然冷却法,这样可使胶膜更坚固,防止因胶的细小裂纹而出现毛刺现象。

 

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