触控技术网|中华液晶网|设为首页|加入收藏
用户名:  密码:    [免费注册][忘记密码]
触摸屏应用产品: 平板电脑 智能手机 触摸笔记本 互动大屏幕 金融自助终端 一体机 KTV触摸屏 触摸屏材料: ITO导电玻璃 OCA光学胶 油墨 Sensor/功能片 导电胶/ACF/ACP 触摸屏设备: 触摸屏生产线 贴合机 UV固化机 预压机 丝印设备 触摸屏面板: 电容触摸屏 电阻屏 红外线触摸屏 声波式触摸屏 多点触摸屏 触摸屏软件
深圳市朗玛数控设备有限公司
广州市汇洲电子科技有限公司

触控面板制造工艺之黄光工艺流程全解

发布时间:2014/8/22 11:16:41   编辑:hxr  来源:触控技术网|全球触摸屏产业领航者
提要:作为目前电容式触摸屏最为主流的制造工艺,黄光制程一直备受关注。技术发展到今天,已经拥有非常完善的工艺。本文将从黄光制程的步骤入手,全面介绍制程中每个步骤及所需注意的事项。
友达光电

6. 蚀刻

蚀刻所选用的酸夜必须能腐蚀掉裸露的ITO层,又不损伤玻璃表面的光刻胶层。另外,还要求酸夜毒性小,使用方便。(酸夜为HCL+HNO3的混合物)。

蚀刻温度对蚀刻效果影响很大,温度太低,则蚀刻时间要长,易产生浮胶;温度太高,则蚀刻酸夜太活泼,也较易产生脱胶或钻蚀现象。

光刻质量要求和分析

(1)光刻质量要求

因光刻质量的好坏直接影响到产品性能,成品率和可靠性,所以把好光刻工艺的质量关是十分重要的。

蚀刻的图形完整,尺寸准确,边缘整齐,线条陡直;

图形内毛刺等,蚀刻干净;

蚀刻后的玻璃表面清洁,不发光,没有残留的被蚀刻夜;

图形定位准确;

(2)光刻指令分析

要达到好上所示的质量,必须对光刻过程中存在的各种缺陷和弊病进行分析和研究,找出原因,才有可能克服这些缺陷和弊病。

A.显影时产生浮胶的原因有

涂胶前玻璃表面不洁净,表面有油污,水汽等,或玻璃清洗后在空气中放置时间过长,空气中的水汽附在玻璃表面上;或者涂胶膜操作环境湿度太大, 使胶与玻璃表面粘附不良。因此,必须注意做好玻璃表面洁净处理和操作环境的温湿度及清洁工作。

光刻胶配制有误胶陈旧不纯,胶的光化学反映性能不好,使胶与ITO层结合能力差;或者胶膜不均匀和过厚,引起粘附不良。

前烘时间不足或过液。烘烤时间不足,胶膜内溶剂不能及时挥发,显影时部分胶膜被溶除;烘烤时间过长,胶膜翘曲硬化,胶的感光特性会发生变化。所以前烘必须恰当。

曝光不足,光硬化反映不彻底,胶膜溶于显影液中,引起浮胶。因此,在保证分辨率的前提下,曝光要充分。

显影时间太长,显影液从胶膜底部不断渗入,引起浮胶。因此必须控制好显影时间。

B.蚀刻IT0层时产生浮胶的原因有

蚀刻是产生的浮胶,除了与显影时产生的浮胶有相同原因外,还有以下几个原因; 坚膜不足,胶膜烘烤热固化不够。所以坚膜要充分,但也不能太高。 蚀刻液温度太低或太高。温度太低,蚀刻缓慢,则蚀刻时间太长,蚀刻液穿透或从底部渗入胶膜,引起浮胶;温度太高,蚀刻液活泼性强,也可能产生浮胶。因此蚀刻温度要选择适当。 蚀刻液配制失误,蚀刻液的活泼性太强。

 

分享到: 6.02K

推荐 触控面板产品

网友评论仅供网友表达个人看法,并不表明液晶网同意其观点或证实其描述。

汉高(中国)投资有限公司

热门资讯

推荐 触控面板厂商