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触控面板制造工艺之黄光工艺流程全解

发布时间:2014/8/22 11:16:41   编辑:hxr  来源:触控技术网|全球触摸屏产业领航者
提要:作为目前电容式触摸屏最为主流的制造工艺,黄光制程一直备受关注。技术发展到今天,已经拥有非常完善的工艺。本文将从黄光制程的步骤入手,全面介绍制程中每个步骤及所需注意的事项。
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7. 剥膜

所谓剥膜,就是将经过蚀刻的玻璃表面残留的光刻胶去除干净。

剥膜液溶度(KOH)需控制在0.8-1.6N范围内。

8.DI水清洗

用纯水清洗玻璃表面,完全去除KOH残夜和表面沾污;

将ITO图案出来的玻璃暂存净化区,为下一道工序作准备。

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