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触控面板制造工艺之黄光工艺流程全解

发布时间:2014/8/22 11:16:41   编辑:hxr  来源:触控技术网|全球触摸屏产业领航者
提要:作为目前电容式触摸屏最为主流的制造工艺,黄光制程一直备受关注。技术发展到今天,已经拥有非常完善的工艺。本文将从黄光制程的步骤入手,全面介绍制程中每个步骤及所需注意的事项。
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作为目前电容式触摸屏最为主流的制造工艺,黄光制程一直备受关注。技术发展到今天,已经拥有非常完善的工艺。本文将从黄光制程的步骤入手,全面介绍制程中每个步骤及所需注意的事项。

1. PR前清洗

A.清洗:

指清除吸附在玻璃表面的各种有害杂质或油污。清洗方法是利用各种化学浓剂(KOH)和有机浓剂与吸附在玻璃表面上的杂质及油污发生化学反应和浓解作用,或以磨刷喷洗等物理措施,使杂质从玻璃表面脱落,然后用大量的去离子水(DI水)冲洗,从而获得洁净的玻璃表面。(风切是关键)

B.干燥 :

因经过清洗后的玻璃,表面沾有水或有机浓剂等清洗液。这样会对后续工序造成不良影响,特别是对后续光刻工艺会产生浮胶、钻蚀、图形不清晰等不良现象。因此,清洗后的玻璃必须经过干燥处理。 目前常采用的方法是烘干法,而是利用高温烘烤,使玻璃表面的水分气化变为水蒸气而除去的过程,此方法省时又省力。但是如果水的纯度不变,空气净化等不多或干燥机温度不够,玻璃表面残存的水分 虽经气化为蒸气,但在玻璃表面还会留下水珠,这种水珠将直接影响后续工序的产品质量。

C. 十槽清洗机 PR清洗机制程参数设定

1---3槽KOH溶液为0.4~0.7N,温度为60±5℃,浸泡时间为2~3min/槽纯水溢流量为0.5±0.2㎡/n. KOH溶度为1.0N~1.6N,温度为40±5℃,喷洗压为0.2~1.0kgf/c㎡,传动速度为3.0~4.5m/min,磨刷转速为85~95rpm,压力为0.2~1.0kg/c㎡,纯水温度为40±5℃,干燥机1.2.3段温度为110℃±10℃。

注:玻璃清洗洁净度不够之改改善对策,适当加入少许KOH溶液,改变KOH,溶液,经常擦拭风切口,喷洗等处,亦可调态清洗机传动 速度,将传速度减慢。

 

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